정밀 광학솔루션의 세계적 선도기업
고성능 초정밀 광학 제품을 선도하는 글로벌 광학 전문 기업
기술 개요 : 수백만 개의 미세 거울(Micro-mirror)로 구성된 DMD를 이용하여
레이저 빔을 공간적 변조(SLM: Spatial Light Modulation)를 통해 ,
마스크 없이 디지털 데이터로 직접 패턴을 기판에 노광 / 가공 하는 기술.
주요 spec.
Beam Uniformity > 95%
Pointing Stability < 20um